Кафедра твердотельной электроники и радиофизики была создана на радиофизическом факультете (тогда кафедры полупроводниковой электроники) с целью подготовки студентов для Института радиотехники и электроники АН СССР. Одним из организаторов кафедры был профессор С. Г. Калашников. Заведовал кафедрой член-корреспондент АН СССР Д. В. Зернов. Кафедра полупроводниковой электроники сразу же была включена в состав вновь образованного факультета физической и квантовой электроники. С 1971 года кафедру возглавляет выпускник МФТИ, академик, член Президиума РАН Юрий Васильевич Гуляев.  Кафедра сильна своим профессорско-преподавательским составом. Практически все преподаватели - ученики академика Ю. В. Гуляева.

Состав базовой кафедры:
заведующий кафедрой - академик Ю.В.Гуляев,
заместители заведующего кафедрой - академик А.С.Бугаев и профессор, д.ф.-м.н. Г.Д.Мансфельд,
сотрудники кафедры - профессор, д.ф.-м.н. С.Н.Артеменко, профессор, д.ф.-м.н. В.Н.Губанков, профессор, д.ф.-м.н. С.В.Зайцев-Зотов, профессор, д.ф.-м.н. В.Е.Любченко, профессор, д.ф-м.н. Е.Н.Хазанов, профессор, д.ф.-м.н. В.В.Проклов, профессор, д.ф.-м.н. Г.Н.Шкердин, доцент, д.т.н. С.В.Боритко.